コストパフォーマンス、除振 性能、操作性を高次元で統合したニューモデルの除振装置です!

パッシブ除振装置 ADZ-Aシリーズ



多くの納入実績をもつADZシリーズ。そこに流れる設計思想を継承し、お客様の要望の1つ1つに新たな解答をプラスしたフルモデルチェンジ型です。除振性能のさらなる向上、作業の快適性を大幅に改善、より大きな搭載盤サイズの追加、搭載機器の操作性を向上させる豊富なオプション群。これらが相まって搭載機器の種類や使用場所を選ばない、ハイコストパフォーマンスな除振装置を実現しました。


特長
  • 垂直、水平方向ともに優れた除振性能
  • ユーザーの視点から考えられたデザイン
  • 袖板や棚板などのオプション群をラインアップ
  • 搭載盤にはスチールハニカム光学定盤を採用

仕様
  ADZ-A0806 ADZ-A1007 ADZ-A1207
固有振動数 垂直: 1.2~1.5Hz
水平: 1.2~1.5Hz 
垂直: 1.2~1.5Hz
水平: 1.2~1.5Hz  
垂直: 1.5~1.8Hz
水平: 1.5~1.8Hz
除振方式 垂直: ダイヤフラム型空気ばね
水平: 防振ゴム
制振方式 オリフィスによるエアーダンピング
レベル維持方式 自動レベル維持機構により自動的に水平を維持
搭載可能質量(kg) 200 250 300
定盤寸法 800×600×t50 1000×750×t50 1200×750×t50
寸法(W×D×Hmm) 900×700×750 1100×850×750 1300×850×750
機体質量(kg) 110 145 165
定盤材質 スチールハニカム:上面板 着磁性ステンレス SUS430 下面板 SS400
供給空気圧(MPa) 0.35~0.70(フィルター付減圧弁付属)

オプション群


調節スクリュー

作業スペース、周辺機器の設置スペースを拡張できます。本体側面の左右に取付可能で幅は250mmです。

上面袖板:UL、UR

搭載盤を跨ぐように取付けます。搭載盤には直接触れていないため除振性能を損ないません。左右方向の任意の場所で使用できます。幅は250mmです。

棚板:T

架台下部に収納スペースを確保することができます。

モニタースタンド:M

モニター固定部はVESA規格(ネジピッチ75×75mmおよび100×100mm)に準拠。高さおよび角度の調整が可能です。除振装置の右奥または左奥に取り付け可能です。(搭載荷重10kg以下。除振装置本体と一括注文のみ承ります。モニターは含まれません。)

クリ-ンルームセンサー:CS

排気エアーを、適切な場所に排出するためのドレンチューブを接続可能。クリーンルーム内で安心して除振装置を使用できます。(レベル維持センサーをクリーンルーム仕様のセンサーへ変更して納品いたします。)

石ハニカム定盤:GH

上面板材質に、耐腐食性に優れたグラナイトを採用したハニカム構造定盤。


仕様
  ADZ-A0806 ADZ-A1007 ADZ-A1207
袖板:L・R 250×700 250×850
上面袖板:UL・UR 250×700 250×850
棚板:T 760×315 960×390 1160×390
モニタースタンド:M VESA規格に準拠(取付ピッチ75×75及び100×100)
クリーンルームセンサー:CS 集中排気ポート付き
石ハニカム定盤:GH 上面板グラナイト・スチールハニカムコア
下面板SS400

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