多くの納入実績をもつADZシリーズ。そこに流れる設計思想を継承し、お客様の要望の1つ1つに新たな解答をプラスしたフルモデルチェンジ型です。除振性能のさらなる向上、作業の快適性を大幅に改善、より大きな搭載盤サイズの追加、搭載機器の操作性を向上させる豊富なオプション群。これらが相まって搭載機器の種類や使用場所を選ばない、ハイコストパフォーマンスな除振装置を実現しました。
特長
- 垂直、水平方向ともに優れた除振性能
- ユーザーの視点から考えられたデザイン
- 袖板や棚板などのオプション群をラインアップ
- 搭載盤にはスチールハニカム光学定盤を採用
| ADZ-A0806 | ADZ-A1007 | ADZ-A1207 | |
|---|---|---|---|
| 固有振動数 | 垂直: 1.2～1.5Hz 水平: 1.2～1.5Hz |
垂直: 1.2～1.5Hz 水平: 1.2～1.5Hz |
垂直: 1.5～1.8Hz 水平: 1.5～1.8Hz |
| 除振方式 | 垂直: ダイヤフラム型空気ばね 水平: 防振ゴム |
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| 制振方式 | オリフィスによるエアーダンピング | ||
| レベル維持方式 | 自動レベル維持機構により自動的に水平を維持 | ||
| 搭載可能質量(kg) | 200 | 250 | 300 |
| 定盤寸法 | 800×600×t50 | 1000×750×t50 | 1200×750×t50 |
| 寸法(W×D×Hmm) | 900×700×750 | 1100×850×750 | 1300×850×750 |
| 機体質量(kg) | 110 | 145 | 165 |
| 定盤材質 | スチールハニカム：上面板 着磁性ステンレス SUS430 下面板 SS400 | ||
| 供給空気圧(MPa) | 0.35～0.70(フィルター付減圧弁付属) | ||
オプション群
調節スクリュー
作業スペース、周辺機器の設置スペースを拡張できます。本体側面の左右に取付可能で幅は250mmです。
上面袖板：UL、UR
搭載盤を跨ぐように取付けます。搭載盤には直接触れていないため除振性能を損ないません。左右方向の任意の場所で使用できます。幅は250mmです。
棚板：T
架台下部に収納スペースを確保することができます。
モニタースタンド：M
モニター固定部はVESA規格（ネジピッチ75×75mmおよび100×100mm）に準拠。高さおよび角度の調整が可能です。除振装置の右奥または左奥に取り付け可能です。(搭載荷重10kg以下。除振装置本体と一括注文のみ承ります。モニターは含まれません。）
クリ－ンルームセンサー：CS
排気エアーを、適切な場所に排出するためのドレンチューブを接続可能。クリーンルーム内で安心して除振装置を使用できます。（レベル維持センサーをクリーンルーム仕様のセンサーへ変更して納品いたします。）
石ハニカム定盤：GH
上面板材質に、耐腐食性に優れたグラナイトを採用したハニカム構造定盤。
| ADZ-A0806 | ADZ-A1007 | ADZ-A1207 | |
|---|---|---|---|
| 袖板：L・R | 250×700 | 250×850 | |
| 上面袖板：UL・UR | 250×700 | 250×850 | |
| 棚板：T | 760×315 | 960×390 | 1160×390 |
| モニタースタンド：M | VESA規格に準拠（取付ピッチ75×75及び100×100） | ||
| クリーンルームセンサー：CS | 集中排気ポート付き | ||
| 石ハニカム定盤：GH | 上面板グラナイト・スチールハニカムコア 下面板SS400 |
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